A Fabricated Method of Electrophoresis Chip in m-TAS

JIN Qinghui, CHEN Jifeng, WENG Jianhua, ZHAN Hongshen，Zhao Jianlong，XU Yuansen
(Shanghai Institute of Metallurgy, Chinese Academy of Sciences, Shanghai China 200050 )

Abstract The material used in Electrophoresis Chip of Micro Total Analysis System (m-TAS) is silicon, glass, fused silica and polymer, etc. The fabricated methods are different while different materials selected. This paper introduces a fabricated method of using fused silica as the chip material. It includes standard photolithography, wet chemical etching and bonding techniques. Also, it shows the electrophoragrams of 100bpDNA Ladder.
Key words m-TAS, Electrophoresis chip, Fabricated method

　

微全分析系统中电泳芯片的一种制作方法

金庆辉  陈继锋  翁建华  章洪深   赵建龙**  徐元森
(中国科学院上海冶金研究所  上海  200050)

摘要   微全分析系统中电泳芯片的基体材料主要有硅片、普通玻璃、优质石英和有机高聚物等。选用不同的材料其制作方法不一样。本文介绍了选用优质石英为芯片基体材料的一种制作方法，关键技术包括标准的光刻，湿法腐蚀，键合等微加工技术。并给出了100bp DNA Ladder 的芯片电泳图谱。
关键词  微全分析系统 电泳芯片 制作方法

金庆辉 男，29岁，博士生，现从事生物微芯片系统的研究。 **联系人
上海市科技启明星计划和973项目(G19999033107)

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