A Fabricated Method of Electrophoresis Chip in m-TAS JIN Qinghui, CHEN Jifeng, WENG Jianhua, ZHAN Hongshen，Zhao Jianlong，XU Yuansen (Shanghai Institute of Metallurgy, Chinese Academy of Sciences, Shanghai China 200050 ) Abstract The material used in Electrophoresis Chip of Micro Total Analysis System ( m-TAS) is silicon, glass, fused silica and polymer, etc. The fabricated methods are different while different materials selected. This paper introduces a fabricated method of using fused silica as the chip material. It includes standard photolithography, wet chemical etching and bonding techniques. Also, it shows the electrophoragrams of 100bpDNA Ladder. Key words m-TAS, Electrophoresis chip, Fabricated method 微全分析系统中电泳芯片的一种制作方法 金庆辉 陈继锋 翁建华 章洪深 赵建龙** 徐元森 (中国科学院上海冶金研究所 上海 200050) 摘要 微全分析系统中电泳芯片的基体材料主要有硅片、普通玻璃、优质石英和有机高聚物等。选用不同的材料其制作方法不一样。本文介绍了选用优质石英为芯片基体材料的一种制作方法，关键技术包括标准的光刻，湿法腐蚀，键合等微加工技术。并给出了100bp DNA Ladder 的芯片电泳图谱。 关键词 微全分析系统 电泳芯片 制作方法 金庆辉 男，29岁，博士生，现从事生物微芯片系统的研究。 **联系人 上海市科技启明星计划和973项目(G19999033107) PDF全文下载(c01108)